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單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐構成
提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成
l 副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
l 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成
l 爐筒:包括取光孔
l 下爐筒:包括抽真空管道
l 底座機架:全鑄鐵機架和底座
l 坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成
l 分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等
l 氬氣管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件
l 真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等
l 電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
購買技術主要要求
1.單晶爐裝料量(單臺機產能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度) 5設備制造工藝控制保證 6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
單晶爐型號定義
單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的