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單晶爐爐體（包括爐底板、主爐室、爐蓋、隔離閥室、副爐室、籽晶提升旋轉機構和坩堝提升旋轉機構）由304L不銹鋼制造。所有腔體都經過缺陷爐室檢查和探傷檢驗，并且經過0.6MPa水壓試驗和氦質譜檢漏儀檢漏。
一、主爐體構造
1、基座與爐底板
爐底板設計成平板式，具有雙層結構，通水冷卻。四只電極穿過底板，在坩堝提升機構的波紋管連接處有一個水冷卻法蘭區。
2、主、下爐室
主、下爐室為雙層筒狀結構，兩端為法蘭結構，通水冷卻，并有隔水條保證冷卻均勻。主爐室設置了一個測溫計窗口，用于測量加熱器溫度。下爐室有抽真空和真空計接口（0～100Torr和0～1Torr）。下爐室在正常操作過程中始終用壓板固定在爐底板上，通過氟橡膠O型圈實現真空密封。
3、爐蓋
爐蓋為爐體和隔離閥座提供了一個過渡區。爐蓋采用標準爐蓋制造，雙層通水冷卻。在爐蓋上設有一個操作者觀察窗口（類橢圓形）和一個直徑控制窗口（圓形）。操作者觀察窗口允許單晶直徑測量范圍至10”，氬氣入口設置在爐蓋的喉部。
4、隔離閥座
隔離閥座為雙層水冷卻結構，前圓后方，正前方設有一道圓門，可以通過圓門方便拆卸和更換籽晶夾頭。圓門中心設有圓形觀察窗。隔離閥座為隔離閥提供了安裝及活動空間，隔離閥的作用是為籽晶或單晶提供進入副爐室的通道，同時可以維持上下爐室的局部壓力和溫度。隔離閥是翻板閥結構，閥板和閥體均是固定式雙層結構，通水冷卻。隔離閥座側面設有兩個籽晶位置檢測窗口（激光定位），后部有一個氬氣入口，可以實現快充氬氣。
5、副爐室
副爐室為圓筒形腔體，雙層結構，水冷卻。副爐室上部前方設有一個圓形法蘭，可以打開用于清理腔體上部，法蘭中心設有圓形觀察窗。副爐室上部是水平調整機構（見附件12），設有一個氬氣入口（正常拉晶時的氬氣通道）、一個抽真空接口（當隔離閥關閉時副爐室抽真空用）和一個真空計接口（0～1000Torr）。
二、籽晶提升旋轉機構
籽晶旋轉提升機構俗稱提拉頭，主要由安裝盤、減速機、籽晶腔（真空腔）、劃線環、快速電機、慢速電機、旋轉電機、離合器、磁流體、鋼纜、籽晶稱重頭、軟波紋管等其他部件組成。
提拉頭的主要功能有使籽晶旋轉提升，并保證勻速旋轉變速提升，且記錄單晶重量位移等數據。
在籽晶提升機構里采用鋼索卷筒提升鋼絲繩。整個提升裝置在一根中空的軸上旋轉，該機構經過靜平衡和動平衡測試，在整個運行范圍內可實現無振動平穩的運行。旋轉密封和提升進給密封均采用磁流體密封。提升腔、離合器腔、稱重腔和晶升底板均由高強度鋁制造而成。
三、副爐室旋轉機構
旋轉機構采用直流伺服電機，雙級蝸輪蝸桿減速，加強型同步帶傳動，可在副爐室提升到位時的緩慢旋開和快速旋閉，實現取單晶過程的自動化動作。
