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單晶爐，全自動直拉單晶生長爐，是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶硅爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如120、150等型號是由投料量決定，85爐則是指主爐筒的直徑大小。
單晶硅爐的主體構成由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。
硅，Si，地球上含硅的東西很多，
好像90%以上都是晶硅的，也就是單晶硅。太陽能級別的硅純度6N以上就可以了。
開始是石頭，（石頭都含硅），把石頭加熱，變成液態，再加熱變成氣態，把氣體通過一個密封的大箱子，箱子里有N多的子晶加熱，兩頭用石墨夾住，氣體通過這個箱子，子晶會把氣體中的一種吸符到子晶上，子晶慢慢就變粗了，因為是氣體變固體，所以很慢，一個月左右，箱子里有就了很多長長的原生多晶硅。
單晶硅片由此進入生產流程：
1、酸洗：使用稀硝酸HNO3,進行清洗，去除表面雜質及提煉時產生的四氯化硅。
2、清洗：清洗硅料經過酸洗后的殘留雜質。
3、單晶硅料烘干：去除水分。
4、挑料：區分P型，N型硅料。
5、配料：對拉晶的硅料型號進行匹配。
6、單晶爐拉晶
7、硅棒檢測：檢查有無位錯，棱線斷等現象。
8、開斷：將單晶硅棒用帶鋸條切割成四方體。
9、包裝：將開斷后的單晶硅棒進行包裝，送至下一道工序
10、磨圓：將單晶硅棒四個直角進行磨圓。
11、多線切割：瑞士的264，265。日本的PV800,MDM442DM設備進行切割0.33mm。
12、清洗
13、單晶硅片檢測：
單晶爐的結構
單晶爐爐體（包括爐底板、主爐室、爐蓋、隔離閥室、副爐室、籽晶提升旋轉機構和坩堝提升旋轉機構）由304L不銹鋼制造。所有腔體都經過缺陷爐室檢查和探傷檢驗，并且經過0.6MPa水壓試驗和氦質譜檢漏儀檢漏。
